Kryształ YAG
1. Wprowadzenie
Kryształ YAG (granat itrowo-aluminiowy, Y₃Al₅O₁₂) to doskonały materiał laserowy i optyczny, znany ze swojej wysokiej twardości, wysokiej przewodności cieplnej, dobrej stabilności chemicznej i doskonałej jednorodności optycznej. Jest szeroko stosowany w-laserach na ciele stałym, podłożach fosforowych LED, oknach optycznych, medycznym sprzęcie laserowym i obronnych systemach-elektrooptycznych.
Firma Hemei posiada głęboką wiedzę techniczną w zakresie precyzyjnej obróbki twardych i kruchych materiałów. Opracowała wydajny i stabilny proces polerowania specjalnie dla kryształów YAG, umożliwiający w pełni kontrolowane przetwarzanie od polerowania zgrubnego do dokładnego. Dzięki temu powierzchnia kryształu YAG spełnia standardy jakości dla zastosowań „klasy laserowej” lub „klasy-optycznej”.
2. Wymagania aplikacyjne
Cele polerowania kryształów YAG obejmują:
Chropowatość powierzchni (Ra) zmniejszona do < 0,5 nm.
Dokładność rysunku powierzchni (wartość PV) lepsza niż λ/10 (@632,8 nm).
Powierzchnia wolna od uszkodzeń i-pęknięć podpowierzchniowych, spełniająca wymagania progu uszkodzeń wywołanych laserem (LIDT).
Jednorodność grubości (TTV) kontrolowana w określonym zakresie mikrometrów.
Aby osiągnąć te cele, w procesie Hemei wykorzystuje się dostosowany do indywidualnych potrzeb system wiązania i wieloetapową-procedurę polerowania, zapewniającą dokładność geometryczną i integralność powierzchni podczas przetwarzania.
3. Specyfikacje systemu
Modułowy system polerowania Hemei wspiera obróbkę kryształów YAG w różnych rozmiarach i kształtach. Podstawowy system obejmuje:
Sprzęt do docierania serii HSM-L/LP:Używane do wstępnego usuwania materiału i kontroli grubości.
System polerowania chemiczno-mechanicznego (CMP) serii HSM-Seria CMP: Służy do uzyskania wyjątkowo-gładkiej i wolnej od uszkodzeń-powierzchni.
Kluczowe podsystemy:
Specyficzna jednostka łącząca wafle/kryształy-(WBU)
Precyzyjne urządzenia polerskie serii SJ/ASJ
C-Głowica napędowa ASJ-System polerowania o dużej prędkości
4. Przebieg przetwarzania
Klejenie i montaż: Kryształ YAG jest tymczasowo łączony z płytką nośną za pomocą WBU, a następnie montowany na urządzeniu polerskim.
Polerowanie zgrubne i pośrednie: Kontrolowane docieranie odbywa się na sprzęcie HSM-L w celu usunięcia uszkodzonej warstwy z obróbki.
Drobne polerowanie: Do końcowego polerowania używany jest system HSM-CMP. Dostosowując parametry, takie jak ciśnienie, prędkość obrotowa i przepływ zawiesiny w czasie rzeczywistym-, można uzyskać wykończenie powierzchni w skali nano.
5. Typowe wyniki
Chropowatość powierzchni: Ra <0,5 nm
Dokładność rysunku powierzchni: PV mniejsza lub równa λ/10
Szybkość usuwania materiału: 1-2,5 μm/godzinę (regulowana)
Ma zastosowanie do płytek YAG o średnicy do mniejszej lub równej 6 cali i kryształów o nieregularnym kształcie.
6. Podsumowanie
Firma Hemei zapewnia kompletne i niezawodne rozwiązanie do polerowania kryształów YAG, zdolne do ciągłego osiągania jakości powierzchni w skali nano i wysokich parametrów optycznych. Wspiera to przemysłowe zastosowanie YAG w-najnowocześniejszych dziedzinach, takich jak lasery i optoelektronika.
Powyższy proces jest realizowany przy użyciu maszyny do docierania i polerowania półprzewodników Hemei
